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半導(dǎo)體氣體大流量異形過濾器的性能優(yōu)勢!

作者:燒結(jié)過濾器專家 發(fā)布時間:2024-11-25 01:54:57人氣: 來源:金屬燒結(jié)過濾器廠家

在半導(dǎo)體制造的世界里,工藝氣體就如同芯片的 “生命氣息”,必須純凈無瑕。而 BF 系列大宗氣體專用過濾器則是保障這一純凈度的關(guān)鍵所在,在眾多核心應(yīng)用場景中展現(xiàn)出無可替代的價值。


先說說它在芯片制造關(guān)鍵的光刻環(huán)節(jié)的作用。在這個精細(xì)到納米級的工序中,大量超高純氮氣被使用。哪怕是極其微小的塵埃顆?;蛘呶⒘康挠袡C雜質(zhì)混在氮氣里,都可能讓光刻的光線發(fā)生散射或者干擾光刻膠的化學(xué)反應(yīng),最終導(dǎo)致芯片線路圖案出現(xiàn)瑕疵。BF 系列過濾器在此處表現(xiàn)卓越,其高達 0.003um 的過濾精度,就像一個超級精密的篩子,把那些可能 “搞破壞” 的雜質(zhì)統(tǒng)統(tǒng)攔住。它采用全 316L 不銹鋼精密打造,這種材質(zhì)不僅耐腐蝕,還為其堅固的結(jié)構(gòu)提供支撐,確保在高壓環(huán)境下穩(wěn)定運行,進一步保證了氮氣以最純凈的狀態(tài)參與光刻過程,大大提高了光刻的精準(zhǔn)度和芯片的良品率。

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在薄膜沉積工藝?yán)铮窠饘俦∧せ蛘呓^緣薄膜的沉積,常常會用到氬氣、氫氣等工藝氣體。這些氣體的純度對薄膜的均勻性、厚度控制以及電學(xué)性能等有著決定性的影響。BF 系列過濾器的多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計在此時就大顯神通了。它能夠在保證大流量氣體供應(yīng)的同時,維持極低的阻損,讓氣體平穩(wěn)且持續(xù)地進入反應(yīng)腔室。相比傳統(tǒng)過濾器,它的通量提升了近 30%,而壓力損失卻降低了 20% 左右,這意味著在相同的動力條件下,它能讓更多的純凈氣體高效地參與薄膜沉積,使得沉積出的薄膜質(zhì)量更高,性能更穩(wěn)定,為芯片的整體性能奠定了堅實基礎(chǔ)。

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還有在蝕刻工藝中,無論是干法蝕刻還是濕法蝕刻,對工藝氣體的純凈度要求都極高。蝕刻過程就像是在芯片上進行微觀雕刻,如果氣體中有雜質(zhì),就可能造成蝕刻過度或者不足,使芯片的微觀結(jié)構(gòu)出現(xiàn)缺陷。BF 系列過濾器的全 316L 不銹鋼材質(zhì)和出色的過濾性能,能夠有效去除氣體中的各種雜質(zhì),無論是顆粒雜質(zhì)、水分還是其他有害成分,都能被它精準(zhǔn)捕捉。其納污能力也極為出色,比普通過濾器多容納約 40% 的雜質(zhì),這大大減少了頻繁更換濾芯的麻煩,提高了生產(chǎn)效率。在高溫且充滿化學(xué)反應(yīng)的蝕刻環(huán)境中,它的整體金屬構(gòu)造也能安然無恙,穩(wěn)定地為蝕刻工藝提供純凈氣體,確保芯片蝕刻工序順利進行。


在半導(dǎo)體制造的整個流程中,從前端的晶圓加工到后端的封裝測試,BF 系列大流量異形過濾器始終堅守崗位,為每一個工藝環(huán)節(jié)的工藝氣體保駕護航。它就像是一位默默奉獻的幕后英雄,雖然不直接參與芯片的功能構(gòu)建,但卻以保障氣體純凈度的方式,間接決定了芯片的質(zhì)量、性能和可靠性,是推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷向前發(fā)展的重要力量源泉。


恒歌金屬濾材氣體過濾器是半導(dǎo)體行業(yè)高純/超純氣體過濾系統(tǒng)的首選

產(chǎn)品特點及規(guī)格:

1、耐高溫耐高壓耐腐蝕

2、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

3、適用于多種工藝氣體

4、高通量、低阻力

5、超高顆粒攔截效率

6、100%氨氣檢露測試

7、內(nèi)置0.003-100微米過濾器

8、出口氣體各雜質(zhì)含量小于5ppb

9、可配置兩閥、三閥和四閥等組件



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客戶評價

  • 來自北京某生物制藥公司的反饋
  • 我司采購的是不銹鋼燒結(jié)濾網(wǎng),我們對濾芯要求精度是0.2-0.5um和1-5um;需要按照我們要求定制濾板,并且好清洗;目前已測試打樣符合要求,已開始初步合作!
  • 來自深圳龍崗區(qū)某PCB線路板工廠的評價
  • 定制的燒結(jié)不銹鋼濾芯做工很好,我們選用316不銹鋼材質(zhì),耐高溫耐腐蝕性很好,恒歌科技技術(shù)配合度高,合作愉快,推薦合作!
  • 來自天津某過濾機械設(shè)備廠家的評價
  • 恒歌是我們一直合作的濾芯生產(chǎn)廠家,這次又定制一批不銹鋼燒結(jié)網(wǎng),整塊板微孔要求1.-1.5毫米 200目;交貨速度杠杠滴,技術(shù)支持非常棒!
  • 來自山西某科技公司評價
  • 定制加工一批不銹鋼粉末燒結(jié)濾片,目測60-90微米防爆片,用于氣體過濾器外殼,需要防塵防水;恒歌技術(shù)服務(wù)團隊很專業(yè),定制設(shè)計效率高,很快就交貨了,質(zhì)量很滿意!
  • 來自廣東東莞長安某五金工廠的反饋
  • 我們定制,兩個型號不銹鋼燒結(jié)濾芯管,外徑2.5和3MM的燒結(jié)濾芯;剛好他們有一批我需要的現(xiàn)貨,質(zhì)量做工很好,下次還會繼續(xù)采購!
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